Norstel社製 SiC バルクウエハ ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

03-5577-2947
平日: 9:30~18:00

Norstel社製 SiC バルクウエハ

Norstel社 SiCバルクウエハの特長

SiC バルクウエハは、次世代パワー半導体用のベース基板として、需要の拡大が続いております。「省エネの切り札」とされ、電気自動車、太陽光発電システム、風力発電システムなどへの搭載が有望視されております。一方で、SiCバルクウエハは、高温下、昇華法での製造が必要のため、高性能化、低価格が難しいとされております。セラミックフォーラムで取り扱うSiC バルクウエハは全て、デバイス量産用の厳しい品質検査をクリアしたウエハです。

セラミックフォーラムは、2011年よりNorstel社製のSiC バルクウエハの取扱いを開始しました。同社のSiC ウエハは、昇華法で製造されており、他社ウエハに比べて、低転移(極低TSD、低BPD)という特徴があり、デバイスの性能と歩留まり向上に大きく寄与致します。

半絶縁SiC基板

製品メーカー案内

スウェーデン Norstel社

Norstel社(スウェーデン)

SiC 研究において高い実績と歴史を誇るスウェーデンのリンチョピン大学からのスピンアウトベンチャー。現状、欧州最大のエピサービス供給会社。1993年より開始された、スウェーデンLinkoping大学とABB社のSiC共同研究を礎として、フィンランドのSiウエハメーカー、Okmetic社傘下を経て、2005年に独立。量産用SiCエピ炉と研究開発用枚葉式エピ炉の他、数多くの評価装置を有し、大量生産に対応した体制を築き上げております。

応用例

  • SiCデバイス用ベース基板(ダイオード、MOSFETなどのトランジスタ)
  • GaNデバイス用ベース基板(HEMT などの高周波デバイス)
  • グラフェン製造用 支持基板
  • 高い放射能耐性という特性をいかした構造材

仕様

norstelspec1.png

当社サービスに関するご相談・ご依頼がございましたら
お電話またはお問い合わせフォームよりお気軽にお問い合わせください。
お電話でのお問い合わせはこちら
03-5577-2947
平日: 9:30~18:00
WEBからのお問い合わせはこちら