Crystal Evaluation

結晶評価

セラミックフォーラム株式会社は、独自に開発した「Crystalline Tester」シリーズ（CS2およびCP1）を用いた高度な測定サービスを提供しています。これらの装置は、半導体材料中の欠陥検出と結晶評価において最先端の技術を駆使しています。

Crystalline Tester CS2の特長

高スループットの欠陥検出

自動欠陥分類ソフトウェアを搭載し、効率的な検査が可能。

オプションで自動ウェーハローダー/アンローダーを装備し、生産ラインでの検査に対応。
高感度な不純物・欠陥検出

非偏光、クロス偏光、平行偏光、円偏光の各モードでの検査が可能。

結晶中の微細な欠陥まで高感度で検出。

Crystalline Tester CP1の特長

相差顕微鏡による3D検査

非破壊で結晶内部の欠陥を3次元的にマッピング。

特に、微小欠陥や結晶面の微細な歪みの検出に優れる。
自動欠陥分類

自動欠陥分類ソフトウェアにより、効率的かつ正確な欠陥評価が可能。

特定の検査手順に基づいてルーチン検査を実行。

サービスの概要

測定原理

トランスミッションポラリゼーションと相差顕微鏡を組み合わせ、結晶欠陥を非破壊で検出。
対応材料

SiC、GaN、AlNなどのワイドギャップ半導体。
データ解析と報告

測定結果の詳細な解析を行い、わかりやすい報告書を提供。

これらの高度な測定サービスにより、半導体の研究開発を強力にサポートします。詳細な情報やご依頼については、当社までお問い合わせください。