Hall effect contract measurement
ホール効果受託測定
半導体材料の特性に関する受託評価・解析が可能です。
ホール効果測定は、半導体材料の基本特性(伝導型、キャリア濃度、移動度)の評価方法です。
ホール効果測定とは
半導体材料における基本特性である伝導型(p, n)、キャリア濃度、移動度を測定するものです。金属や半導体に電流を流しながら垂直方向に磁場をかけると、ローレンツ力の影響で電荷キャリア（電子や正孔）が偏り、電圧（ホール電圧）が発生し、この現象をホール効果といいます。
受託測定サービス
セラミックフォーラムでは、Hall効果測定法による半導体材料の特性に関する受託評価・解析サービスを行なっております。
この測定は、6～8mm角程度の半導体ウエハ片の四隅にオーミック電極を形成した試料を用いる Van der Pauw法によって行います。(図1)
室温のほか20-800Kの範囲で測定温度を可変することができ、キャリア濃度や移動度の温度依存性から、半導体中の欠陥に関するより詳細な情報を得ることができます。Van der Pauw法の他、オプションとしてホールバー形状試料での測定、バイアス印加測定にも対応できます。
Hall効果測定事例
