Contracted analysis

DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) 法
半導体材料の特性は、内在するごくわずかな不純物や格子欠陥（結晶欠陥）によって大きく影響を受けるため、それらの評価がたいへん重要となります。
DLTS法は、これら結晶欠陥が作る電子状態（深い準位）を高感度で検出する優れた手法であり、1974年に米国Bell研究所のLangによって考案されて以来、今日に至るまで広く使われてきました。

セラミックフォーラム株式会社は、独自に開発した「Crystalline Tester」シリーズ（CS2およびCP1）を用いた高度な測定サービスを提供しています。これらの装置は、半導体材料中の欠陥検出と結晶評価において最先端の技術を駆使しています。