LayTec Epi In-situ Monitoring System

主な特長

1. 高精度なリアルタイム測定

   ファイバーベースの測定ヘッドと専用コントローラーを備え、測定性能と精度を最適化。

   低スペクトルノイズ、優れた絶対精度、および2D測定の均一性を実現。

2. 柔軟なモジュラー設計

   開カセット、SMIF、FOUPロードポートに対応する構成が可能。

   最大300mm径のウエハに対応し、工業用途に必要な高スループットを実現。

3. 自動化とロボットロード

   カセット間自動化を実現し、高スループットをサポート。

   ウエハハンドリングと測定のために専用のファンフィルターユニットを装備し、クリーンルームに対応。

4. 高度な解析機能

   フーリエ変換、ラプラス変換、マルチ指数関数過渡フィットなど、広範なデータ解析機能を提供。

   ウエハごとの測定結果をインポートし、2Dマッピング解析を最適化するLayTec Connected Metrologyシステムを導入。