Sciensee社製 SiC/GaN ウェハ測定・検査装置
SurfPro ウェハ表面平坦度測定システム
シリコン、ガラス、サファイア、GaN、SiCなどの透明および不透明な材料に対応する高精度測定システムです 。
TTV、BOW、THK、WARP、LTVの測定が可能で、切断、研削、研磨、薄化といった各プロセスを強力にサポートします 。
半自動から全自動操作までカスタマイズでき 、アップグレード版のSurfPro PLUSでは、使いやすさを維持しつつ検査速度が大幅に向上しています 。
LFMシリーズ / 総合欠陥検査システム
SiC基板およびエピタキシャルウェハの検査に特化したシステムです 。
独自の光学イメージングとアルゴリズムを活用し、結晶/エピタキシャル欠陥（マイクロパイプ、積層欠陥、BPDなど）から、表面のパーティクル、スクラッチ、ピット/突起、クラック、ボイド、ポリタイプ欠陥までを自動検出し分類します 。
手動ロードの卓上型からロボットアームを用いた完全自動化まで対応し、強化されたラインスキャンモジュールにより検査効率を大幅に向上させます 。
その他の総合測定・検査ソリューション
製造プロセス全体を管理・追跡するための多彩な装置を提供しています。
パッケージングウェハの総厚や多層膜の厚さ、粗さを測定する「膜厚・微細構造測定器」、ウェハの直径、ベベル角、ノッチ寸法、エッジチッピングを測定しMES統合をサポートする「面取りプロファイル検査装置」をラインナップ。
さらに、特許取得済みのウェハホルダー（150〜220mm対応）を備えた「自動応力測定器」や、製造中のウェハ追跡に用いる「バッチウェハIDリーダー(OCR)」も展開しています。
メーカー情報
Sciensee
2017年に設立されたSciensee（謙視智能科技）は、ハイエンドな半導体測定および検査ソリューションの専門プロバイダーです 。SiC、GaAs、Siベースの材料市場に特化し、ウェハ検査からパッケージングの品質管理まで製造プロセス全体をカバーします 。特にSiC基板向けでは500台以上の納入実績を誇り、60社以上の半導体企業にサービスを提供しています 。
