LayTec in-situ Measurement System
LayTec社製in-situ測定装置
製品の特徴
基板表面の実温度（±1K）をリアルタイム測定、常時外部出力も可能
界面、表面の粗さ検知
成膜速度測定（精度±1%以下）
基板の反りから見る構造解析（EpiCurve®シリーズ）
複数軸方向での反り測定が可能 （非球面性の反りに対応 : ARシリーズ）
オプションで青色レーザ選択可能 （パターン基板や両面研磨基板に最適）
反射率・温度・反りの同時測定
3波長モデルに加え、全波長での反射率測定(UV-VIS-IR)も取り揃えております。
VCSEL構造成長中のDip波長位置やStop-band幅の自動解析
製品の特徴
基板表面の実温度（±1K）をリアルタイム測定、常時外部出力も可能
界面、表面の粗さ検知
成膜速度測定（精度±1%以下）
基板の反りから見る構造解析（EpiCurve®シリーズ）
複数軸方向での反り測定が可能 （非球面性の反りに対応 : ARシリーズ）
オプションで青色レーザ選択可能 （パターン基板や両面研磨基板に最適）
反射率・温度・反りの同時測定
3波長モデルに加え、全波長での反射率測定(UV-VIS-IR)も取り揃えております。
VCSEL構造成長中のDip波長位置やStop-band幅の自動解析
In-situモニタリングシステム ラインナップ
| シリーズ | 表面温度 (IRバイロ) |
成膜速度 | 基板反り | 複数ヘッド | 表面温度 (UVバイロ) |
|---|---|---|---|---|---|
| Epitt | ✔ | ✔ | |||
| EpiCurve@TT | ✔ | ✔ | ✔ | ||
| VCSEL | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | |
| Pyro400 | ✔ |
上記In-situ装置以外にも装置の保守に最適な温度校正ツール(AbsoluT)や、Mapperシステムも取り揃えております。
Mapperシステムの特徴
200mm x 200mmまでのマッピングに対応
全波長での反射率測定(UV-VIS-IR)による膜厚分布
各種分布値(PL測定、反り値、シート抵抗、透過率 等)
VCSEL構造のDip波長位置やStop-band幅の解析
製品メーカー案内
LayTec社（ドイツ）
1999年に設立されたIn-situ エピタキシャルセンサー分野のリーディングカンパニー。
2009年から3年連続でドイツで最も急成長しているテクノロジー企業50社の1つにランクイン。
2011 年にはORS（Optical Reference Systems）を子会社化し、同社の技術にさらなる価値を追加した。
現在、世界中に2500以上の計測システムを設置しており、その75％がアジア、10％が北米、15％がヨーロッパにある。
