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Nidek Flatness Tester

ニデック社製平坦度測定装置

FT-900 フラットネステスター: FT-900シリーズは、レーザー光斜入射干渉計を用いた干渉縞の位相シフト法による画像解析により、ウェハのフラットネスを高精度に測定します。この装置は、研究開発から量産ラインまで幅広い用途に対応します。

主な特長

  • 多彩な測定サンプル

    シリコン、SiC、GaN、サファイアなどのウェハ、アルミやガラスディスク、金属片など、さまざまなサンプルを測定可能。

  • 高精度測定

    多重干渉縞に対応した位相シフト解析により、透明体サンプルの裏面干渉を低減。

  • 自動キャリブレーション

    お客様によるキャリブレーションが不要で、出荷時および定期点検時にニデックの認定者が実施。

  • 豊富なオプション

    様々な測定ニーズに応えるための豊富なオプションを提供。

会社概要

株式会社ニデックは1971年に愛知県に創業。医療、眼鏡機器、コーティングの3つの分野に事業を展開してきましたが、近年では半導体ウェハのフラットネス測定においても、精密な干渉計技術を提供しています。特にFT-900シリーズは、シリコン、SiC、GaN、サファイアなどの多様なウェハ材料に対応し、高精度なフラットネス測定を可能にします。