SiC Epitaxial Service

Coherent社(旧Ascatron社)は独自の技術と高い実績を持ち、n型・p型のいずれでも、低濃度から高濃度まで、R&D向け特殊仕様・量産向け仕様を問わず提供が可能です。
長年の経験から、お客様のご要望にあわせて、特殊な仕様にも柔軟に対応し、高品質且つ、最適なサービスを選定して提案します。
「他メーカーで断られた」という仕様を実現した事例も多数あります。

【対応可能成膜ウエハサイズ】

4～6インチ

【最低注文枚数】

5枚～

*5枚以下は要相談。

II-VI Kista AB社（Coherent Group）（スウェーデン）
エピタキシーサービスをはじめとして、デバイス設計・パッケージまでの工程を総合的に手がける、SiC専門ファブ。スウェーデンの国営研究機関（ACREO）にて1993年からSiCの研究開発を行っていた組織を母体として、2011年創立。数多くの開発実績をもとにした3DSiCエピタキシャル構造やデバイス設計・プロセス技術など、独自のノウハウと技術を提供。
2020年よりⅡ-Ⅵ社に買収され現在はCoherentの傘下にある。

2024年より普興電子社(中国)のSiCエピウエハの取り扱いを開始しました。
N型・p型どちらの成膜も可能です。
2023年の6月にはまだサンプル段階ですが、8インチSiCウエハ上への成膜も成功し、エピウエハの厚みやドーピング濃度の均一性は6インチSiCエピウエハに匹敵すると発表しました。

【対応可能成膜ウエハサイズ】
4～6インチ

【最低注文枚数】
1枚～

普興電子社(中国)
2000年に設立された高性能エピタキシャルウエハの研究開発と生産に特化したメーカーです。
会社設立前の2016年からSiCの研究開発を行っており、2019年に6インチエピウエハの量産を達成。
2022年には新たに工場を増設し、中国で初めて品質管理規格であるTS16949に認証された企業として現在中国で拡大しています。