Yuhi Edge Grinder / Profiler
雄飛社製エッジングラインダー/プロファイラー
エッジグラインダー YH-8800: YH-8800は、6インチから8インチのウェハに対応するカセットからカセットへの完全自動研削装置です。高精度のセンタリング機能（±30μm）を備え、ウェハの外周を効率的に研削します。この装置は、特にSiCやその他の化合物半導体の処理において高い市場シェアを持っています。
主な特長
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高精度センタリング
±30μmの高精度を実現。
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高スループット
2軸制御で効率的な研削を実現。
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優れた結晶方位
高精度のセンタリングにより、優れた結晶組織を保持。
エッジグラインダー YH-8800: YH-8800は、6インチから8インチのウェハに対応するカセットからカセットへの完全自動研削装置です。高精度のセンタリング機能（±30μm）を備え、ウェハの外周を効率的に研削します。この装置は、特にSiCやその他の化合物半導体の処理において高い市場シェアを持っています。
特徴
非接触測定
Φ2”〜φ12”のウェハに対応。
高精度測定
単眼130万画素CCDカメラを使用し、精密なプロファイルデータを提供。
製品メーカー案内
雄飛
SiCやGaNなどの化合物半導体ウエハ用のエッジグラインダーとエッジプロファイラーを開発・製造する企業です。ウエハのエッジグラインダー開発には40年の歴史があり、前身である雄飛電子では装置の共同開発の初期段階から関与しています。
特にSiC向け装置に多くの実績を有しており、2008年にSiC向け装置を初めて納入し、欧米SiCウエハメーカーや日本の主要ウエハメーカーに多く装置を提供してきました。加工精度において競合機に優位性を持ち、エッジプロファイラーも累計60台以上を出荷しています。
