Our Partners
取扱メーカー
Glass Service社(チェコ)
Bernard Bonnefond社 (フランス)
Vitroflow社 (スウェーデン)
FLAMMATEC社(チェコ)
MOTIM社(ハンガリー)
Phystech社 (ドイツ)
LayTec社(ドイツ)
Aehr Test Systems
秀和工業
EpiQuest
雄飛

SiCやGaNなどの化合物半導体ウエハ用のエッジグラインダーとエッジプロファイラーを開発・製造する企業です。ウエハのエッジグラインダー開発には40年の歴史があり、前身である雄飛電子では装置の共同開発の初期段階から関与しています。
特にSiC向け装置に多くの実績を有しており、2008年にSiC向け装置を初めて納入し、欧米SiCウエハメーカーや日本の主要ウエハメーカーに多く装置を提供してきました。加工精度において競合機に優位性を持ち、エッジプロファイラーも累計60台以上を出荷しています。