EpiQuest KOH Etching/MOCVD/MBE/Oxidation Equipment
エピクエスト社製KOHエッチング/MOCVD/MBE/酸化装置
主な特長
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安全な操作
KOH蒸気に直接触れることなく、低温環境でサンプルを取り出せる。
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完全自動化
ウェハの回転、バスケットの昇降、熱電対の挿入と取り出し、るつぼのシャッター操作などすべてのプロセスが自動化。
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データロギング
ログデータを内部ストレージに保存し、USBメモリにエクスポート可能。
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CE準拠
欧州規格に準拠した安全設計。
その他のEpiQuest製品:
MBEシステム
分子線エピタキシー装置は、研究および生産用に最適で、ZnOや窒化物半導体などの材料開発をサポート。
MOCVDシステム
化合物半導体のエピタキシャル成長に使用されるMOCVDシステム。
酸化システム
VCSELの酸化プロセスに対応する装置。
超高温炉
さまざまな高温プロセスに対応。
会社概要
株式会社エピクエストは、エピタキシャル技術の専門企業であり、特にSiCウェハの加工に優れたKOHエッチング装置を提供しています。また、MBEおよびMOCVDシステムの設計・製造においても豊富な実績を持っています。
KOHエッチング装置 (ETC-8001CE): EpiQuestのKOHエッチング装置は、SiCウェハやGaNウェハのエッチピットを明らかにするための高温エッチングプロセスを安全かつ自動で行うことができます。この装置は、エッチングプロセスのすべてのステップを自動化し、人間が直接触れることなく操作を行えるため、安全性が高く、メンテナンスも容易です。
