Phystech DLTS measurement equipment

Phystech社製DLTS測定装置

Phystech DLTS測定装置 (FT1230)は、半導体材料の欠陥評価において高い感度を持つ測定システムです。この装置は、DLTS測定に必要な高感度な測定機能に加え、さまざまな半導体材料に対応する高度なソフトウェアを備えています。

主な特長

多様な測定モード

基本DLTS測定モードに加え、固定温度下での時間ドメイン測定を行うICTS（等温容量過渡スペクトロスコピー）モードを搭載。

光パルスを使用した光DLTS / ICTSモード、一定容量モード（CC-DLTS）、電流モードDLTS / ICTS、PITS（光誘起電流過渡スペクトロスコピー）法、TSC（熱刺激電流）法など、多様な測定方法に対応。
高感度な測定

電流モードおよびDLTS / ICTS測定は、FETなどの3端子素子の欠陥評価にも適用可能。

独自のハードウェア/ソフトウェア設計により、電流計の感度は0.01 fF、トラップ検出感度は10^-7、エネルギーの正確性は±3％を実現。
幅広い測定アプリケーション

トラップ濃度分布測定、捕獲パルス法による捕獲断面積の直接測定、Zerbst分析など、多様な測定用途に対応。

HERA-DLTSシステムにより、DLTSスペクトルの分離が困難な隣接するエネルギーレベルも新しい数学的アルゴリズムで分離可能。
先進的なソフトウェア

フーリエ変換、ラプラス変換、多指数関数過渡フィット、ITS（等温過渡スペクトル）信号のデコンボリューション、Tempscan信号のデコンボリューションなど、幅広いデータ解析機能を提供。