Phystech DLTS measurement equipment
Phystech社製DLTS測定装置
Phystech DLTS測定装置 (FT1230)は、半導体材料の欠陥評価において高い感度を持つ測定システムです。この装置は、DLTS測定に必要な高感度な測定機能に加え、さまざまな半導体材料に対応する高度なソフトウェアを備えています。
主な特長
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多様な測定モード
基本DLTS測定モードに加え、固定温度下での時間ドメイン測定を行うICTS（等温容量過渡スペクトロスコピー）モードを搭載。
光パルスを使用した光DLTS / ICTSモード、一定容量モード（CC-DLTS）、電流モードDLTS / ICTS、PITS（光誘起電流過渡スペクトロスコピー）法、TSC（熱刺激電流）法など、多様な測定方法に対応。
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高感度な測定
電流モードおよびDLTS / ICTS測定は、FETなどの3端子素子の欠陥評価にも適用可能。
独自のハードウェア/ソフトウェア設計により、電流計の感度は0.01 fF、トラップ検出感度は10^-7、エネルギーの正確性は±3％を実現。
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幅広い測定アプリケーション
トラップ濃度分布測定、捕獲パルス法による捕獲断面積の直接測定、Zerbst分析など、多様な測定用途に対応。
HERA-DLTSシステムにより、DLTSスペクトルの分離が困難な隣接するエネルギーレベルも新しい数学的アルゴリズムで分離可能。
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先進的なソフトウェア
フーリエ変換、ラプラス変換、多指数関数過渡フィット、ITS（等温過渡スペクトル）信号のデコンボリューション、Tempscan信号のデコンボリューションなど、幅広いデータ解析機能を提供。
技術仕様
流計の感度: 0.01 fF
トラップ検出感度: 10^-7
エネルギーの正確性: ±3％
オプション
FT-1230 DLTS システム: 標準的な DLTS 測定システム。
FT-1235 CGI メーター: 1MHz の標準 CGI メーター。
FT-1237 高電圧 CGI メーター: 500V/600V の高電圧 CGI メーター。
FT-1243 3周波数 CGI メーター: 250kHz、1MHz、2.5MHz の3固定周波数。
FT-1245 多周波数 CGI メーター: 多周波数スキャンが可能。
FT-125X スイッチボックス: LCR メーターと CGI メーターの切替。
LCR オプション: 静的および動的測定用の追加ボード。
FT1230 HERA-DLTS（概要）
FT1230は、半導体中の深い準位（トラップ）のエネルギーレベル、捕獲断面積および濃度を高感度で測定するための装置システム（DLTS）です。DLTS測定に必要な高感度な測定系に加え、種々の特性を有する半導体材料の欠陥評価に対し幅広く対応できるソフトウエアを備えています。
HERA-DLTS システム FT1230 DLTSモード
● C-DLTS 容量DLTS (Capacitance DLTS)
● CC-DLTS 定容量DLTS (Constant Capacitance DLTS, with CC option)
● I-DLTS 電流DLTS (Current DLTS)
● Q-DLTS 電荷DLTS (Charge DLTS)
● FET DLTS 3端子DLTS、第2電圧源標準装備 (3 terminal DLTS 2nd voltage source included as a standard)
● DD-DLTS 過渡差分DLTS (Transient difference DLTS)
● ITS 等温過渡分光法（CまたはI）(Isothermal Transient (C or I) Spectroscopy)
● PICS 光誘起過渡分光法（CまたはI）(Photon induced transient (C or I) spectroscopy)
● Capture DLTS 過渡キャプチャ測定 (Capturing transient measurement)
● Laplace-DLTS 対数過渡測定及び評価 (Logarithmic transient measurements and evaluations)
● MIS - Nss DLTS 表面状態密度の測定及び評価 (Surface states density measurement and evaluations)
● MIS - Zerbst DLTS 少数キャリア生成／寿命測定 (Minority carrier generation / lifetime measurements)
● C(V), I(V), C(t),I(t) 温度スキャン中のT依存、リチャードソンプロットもあり (Also, T-dependent. during temp scan, Richardson plot)
評価モード
● 相関DLTS (Correlation DLTS)
- 28種類の相関関数（ソフトウェア）を使用。
- 一つの測定パラメータセットにつき、28の温度スキャンと28のアレニウスプロットポイントを得るためには一回の温度スキャンだけ必要。
- 18種類の異なる測定パラメータセット（バイアス電圧、パルス電圧/幅/モード等）が一回の温度スキャンで測定されるよう定義可能。
● フーリエ評価 - 直接的な時間定数評価
● ラプラス評価 - 測定された過渡（C、CC、I、Qなど）の一つ以上の時間定数を評価するための逆ラプラス変換
● HERA DLTS - 特別な再構成数学を用いた強く重なり合う温度スキャンまたはITS信号のデコンボリューション
● その他 - 温度スキャン最大点解析などの複数のサブモードも搭載
ソフトウエア（仕様書で確認できる範囲）
● 完全測定および評価ソフトウエア
● Tempscan / Isothermal / DLOS
● Arrheniusプロット、捕獲断面積抽出、材料ライブラリ管理
● モジュール化されたソフトウエア構造
メーカー情報
Phystech社 (ドイツ)
Phystech社は、ドイツのカッセル大学発のDLTS測定装置専門メーカーです。2016年にリリースされたFT-1230は、競合製品と比較して最も多様な測定モードを持ち、あらゆる材料の研究者の要求に対応できる唯一のシステムです。
