Advanced Furnace Technology社のMOVCDエピ装置部品洗浄サービス
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AFTechのMOVCDエピ装置部品洗浄サービス
Advanced Furnace Technology (AFTech) は、お客様のエピ炉部品の洗浄と部品寿命の延長を専門に行っています。
同社は、半導体デバイス製造に使用されるあらゆる種類の黒鉛とSiCコーティング黒鉛の洗浄を得意としています。
サセプター管理サービスのパイオニアであるAFTechは、III-V物質と窒化物の堆積物を除去することにより、MOCVD/MOVPEチャンバー部品の寿命を延ばすことに特化しており、実用的な最高レベルの清浄度を実現しています。
また、独自の高温乾燥ガス真空プロセスにより、化合物半導体材料とドーパントのすべての痕跡を除去し、エピタキシャル炉の部品を一新します。
コスト削減と効率化
AFTechのサービスは、洗浄工程を簡素化し、グラファイトサセプター部品の寿命を延ばすことができます。III-V族化合物やドーパントの除去に対応した洗浄プロセスは、MOCVDチャンバー内の不純物を最小限に抑え、リアクターの効率を向上させます。
2段階の洗浄サイクルを使用しており、第1段階では部品の表面に付着したデポジットを除去し、第2段階では部品を浄化してアウトガスを発生させ、グラファイトをリアクターで利用できる状態に回復させます。これは長年に渡って磨き上げられたプロセスであり、一貫性が保証されています。
また、パーツ受領後約1週間の納期でリアクターのダウンタイムを最小限に抑え、必要な時にサセプターをお届けします。さらに、黒鉛の大量在庫を維持したり、サセプター部品を頻繁に交換したりする必要がないため、MOCVDプロセスのコストが削減できます。
AFTechでは、Veeco社およびAixtron社のリアクター部品を定期的に洗浄を受注しているほか、他社メーカーのサセプターやカスタム炉用の特注チャンバー部品も洗浄実績があります。
洗浄後は、大気ガスの吸収を最小限に抑え、安全な輸送を確保するために、各部品を個別に梱包/ラベルし、2つの気密袋で出荷しています。
洗浄できる部品
- 黒鉛
- PG コーティング黒鉛
- グラッシーカーボン
- SiC コーティング黒鉛
- モリブデン
- 石英
- タングステンコーティング黒鉛部品
グラファイト部品の洗浄以外は、純化及びコーティングも提供させて頂きます。気軽にお問い合わせください。
製品メーカー案内
Advanced Furnace Technology社 (イギリス)
グラファイトのクリーニング、浄化およびコーティングを主要サービスとする。 材料科学部門向けに特注の高温プロセス炉を製造してきた40年以上の経験を活かし、 世界中の半導体メーカーにMOCVDサセプタの洗浄・浄化サービスを提供している。 2段階の高温乾式ガスプロセスを採用し、純度99.9999%という高品質を保っている。