ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

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CS-1 結晶歪み観察装置

Crystalline Tester CS1


“Crystalline Tester CS1”は、結晶材料に残留する欠陥や応力によって引き起こされる結晶歪の分布状態を観察する検査器です。可視光(波長:400~ 800nm)に透過性のある結晶材料を非破壊非接触で簡便に観察する検査器です。
目視では見えない結晶材料全体の歪状態を簡便で瞬時に診断する結晶性テスターとしてご活用下さい。



結晶内歪観察装置CS1

製品メーカー案内


セラミックフォーラム社(日本)

セラミックフォーラム株式会社(日本)

本製品は弊社で開発製造している製品となります。

製品の特長

製品の特長
  1. 高速測定(6" ウエハ 90秒)
    ・残留応力分布を、最も高速かつ簡便に観察可能

  2. 深さ方向の結晶評価
    ・透過型の結晶評価装置のため、結晶基板の表面だけでなく、Z軸方向も含めた結晶の全てを評価可能

  3. X線トポと近似の測定効果
    ・同様の結果を取得でき、高速低コストを実現

  4. 価格競争力
    ・結晶評価装置の中で、最もコストパフォーマンスに優れたシステム
測定可能材料
  1. SiCバルクウエハ、及びSiCエピウエハ
  2. GaNバルクウエハ、及びGaNエピウエハ
  3. AlNバルクウエハ、及びAlNエピウエハ
  4. 可視光に透過性があり、複屈折効果のある結晶全て
測定効果の少ない材料 ・可視光に透過性のない材料例:シリコン、GaAsなど
・複屈折効果のない材料例:サファイア、Ga2O3 など
CS1画像と目視画像との比較


当社サービスに関するこんなお悩み・ご相談お待ちしております!
  • SiCやGaN などのワイドギャップ半導体に関して質問がある
  • SiCやGaN ウエハに成膜するエピの仕様を決めたい
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