Ceramicforum的宽禁带半导体与玻璃溶解技术

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CS-1 晶片内位错检测仪

Crystalline Tester CS1

 

”Crystalline Tester CS1”是非破坏性、非接触式检测可见光（波长400～800nm）透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。





結晶内歪観察装置CS1

产品厂家介绍


セラミックフォーラム社（日本）

Ceramic forum株式会社（日本）

本产品是弊司自主研发产品。

产品特征

产品特长
  1. 高速测量（6" 衬底　90秒）
    ・可以最快速度简捷方式观察残留应力分布。
  2. 纵向结晶评价
    ・因为是透视型结晶评价装置，所以不只可以观察衬底表面，还可以观察包括Z轴方向的晶圆所有部位。
  3. 可取得与X-Ray Topography imaging comparison同等测试效果
    ・可以取得同等测试效果，实现高速低成本。
  1. 价格竞争力
    ・在晶片测量装置中，属于性价比最好的一款系统。

可测量材料
  1. SiC单晶衬底、及SiC外延衬底
  2. GaN单晶衬底、及GaN外延衬底
  3. AlN单晶衬底、及AlN外延衬底
  4. 可视光可透视、有双折射效果的结晶均可。

测试效果不佳材料

・无可视光透视性材料：Si、GaAs等
・无双折射效果材料：蓝宝石、Ga2O3 等
CS1画像と目視画像との比較


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